0000005266 00000 n 0000000016 00000 n 走査電子顕微鏡(SEM:Scanning Electron Microscope)は電子線を試料に当てて表面を観察する装置であり、X 線検出器を取り付けて元素分析を行うこともできる。図1に、スギ花粉の光学顕微鏡画像とSEM 画像を比較して示す。このように、SEM は光学顕微鏡をはるかに凌ぐ分解能を有するため、材料や半導体デバイス、医学、生物学など、様々な分野で幅広く利用されている。 図1 光学顕微鏡とSEM の画像比較(試料名:スギ花粉) Copyright © 1996-2020 JEOL Ltd. All Rights Reserved. 0000054459 00000 n
68 60 最も一般的な対物レンズの形状です。対物レンズの下に試料を置き、検出器で観察します。漏れ磁場は他の対物レンズよりも少ないため、磁性材料など、様々な試料を観察できるのが特徴です。, 試料を対物レンズの磁界中に置くため、収差が非常に小さい対物レンズです。大型試料や磁性材料の観察は難しいですが、電界放出型電子銃（FE電子銃）と組み合わせることで、最高解像度を実現することができます。, アウトレンズ方式とインレンズ方式の中間的な対物レンズです。ポールピースの形状を工夫し、漏れ磁場を使用することで、アウトレンズ方式よりも短いワークディスタンスで観察することができます。. 0000020182 00000 n 0000304241 00000 n

)�O:��']�ҧ�ȸ��^�i �������������P�������ҵ���p��,�g���I�^�֮z$���3�b>�?j$�yX&�^������4����PO���w�S~��M3���(�,MW���yk�9��t�2��b���!2��܄�]���P�%�����u3C�����k���34� )D��L;���n��^�9oG'�x�. 0000008325 00000 n

0000049948 00000 n 0000303120 00000 n 0000240222 00000 n

0000298544 00000 n

fe-semの原理・特徴 観察事例 イオンミリング法の原理・特徴 イオンミリング法を適用した断面試料の観察事例 sem-edxの原理・特徴 sem-edxの適用事例 2 . 0000001779 00000 n

0000350294 00000 n 0000269911 00000 n 0000009316 00000 n 高性能を高効率に活用できる新型SEMを紹介いたします。, 画面をタッチするようにクリックするだけの、簡単操作を実現したシンプルGUIを搭載しています。, Zigzag機能は連続した視野を自動的に取得できます。Multi Zgzagは試料台上の複数の箇所でZigzag設定が可能で、複数枚の高倍率画像を異なる視野で撮影でき、取得した画像をViewer機能でつなぎ合わせることで広域画像を作成できます。, SU3800/SU3900 のために、新たに開発されたSEM/EDSインテグレーションシステムは、SEM側から解析個所の決定、条件設定、分析、レポートと一連の操作を一体化しました。SEM側からすべてをコントロールすることによって、スループットを向上し、オペレーターの負担を軽減します。, 4分割＋1素子のデザインを採用し、素子ごとの演算を行うことで組成像や3D像、さらに試料の回転を行うことなく4方向からの凹凸像観察が行えます。検出器のスリム化と高感度化により、高分解能/高Ｓ/N化を実現しています。, Hitachi map 3Dは、SU3800/SU3900に搭載された4分割反射電子検出器によって取得した、方向が異なる4つのSEM像を演算して3Dモデルを構築します。2点間の高さ寸法計測や体積測定、簡易表面粗さ（面粗さ、線粗さ）などの計測が可能。4つのSEM画像は1度に検出されるため、試料傾斜、複数画面の視野合わせが必要ありません。, SU3800/SU3900は、米国Media Cybernetics社製画像処理ソフトウェアImage-Pro®にSEM画像を転送する機能IPIを搭載しています。SEM画像から高機能な画像計測ソフトウェアにワンクリックでデータを移行できます。, *2：509.8 mm×286.7 mm（1,920×1,080の画素表示）を表示サイズとして倍率を規定。, 弊社製品を使用した社内外の研究論文、技術情報、アプリケーションおよび新製品情報を公開しています。, 電子顕微鏡により忠実に再現した、金属、鉱物、生物などの造形の美をコンピュータのグラフィック技術により、さらに美しく仕上げた写真集です。, 日立のSEM、TEMで撮影した私たちの身の回りにいる生物、化粧品、繊維などの極微の世界をミクロ先生が紹介します。. <<7f2c6f55186f174286f1b94266319772>]>> 0000027187 00000 n 0000002503 00000 n 3d-semによる鋼板表面3次元形状解析技術 jfe 技報no. %%EOF

検出器と違って陰影の強い像となる．図6 はカーボン基板 上の蒸着金粒子のSEM 像で，TTL 検出器による像（図6a） と下方検出器による像（図6b）を比較したものである．図 6a では金粒子の外形がわかるものの凹凸の判断はできない 0000049028 00000 n FeB/Fe2B（13.2%/8.8%硼素濃度）。 0000023981 00000 n incCopy();

xref 0000003674 00000 n 試料 ： シリコン X 線像ガス含多い大型コンクリート試料, 1） 鈴木武雄、柴田昌照、田中和郎、土井恵子、戸田龍樹；

0000050196 00000 n 0000041001 00000 n 0000027414 00000 n x�b```f````c`�icb@ !�;�f��eJ82~1�ih۽:��X�z��a��Y��X;1�rF�LVN�g�ȥ�)��o���$W���ه���f�Hl�M�Jyӻ"h���Q�i!�.&���~������r���jQhx,�dQ��G���T�R�P��X. 0000050436 00000 n

0000002010 00000 n 0000050791 00000 n 0000024480 00000 n

そこで本研修では，日立および日本電子製のsem-edx に関して，edx 装置についての操作・ 原理等を学ぶこと，写真1，2，3に示すsem-edx 装置3 機種を利用して操作トレーニング・ 低真空SEMの特長は非導電試料での無蒸着観察（含む分析）と若干の油分（水分）を含んだ表面観察が可能なことです。また、簡易試料凍結法1）、試料冷却法、との併用によりさらなる効果が期待できます。, 図 6 ： 黄銅鉱のカラーマップ 0000006332 00000 n

0000012811 00000 n 0000004086 00000 n 0

0000302673 00000 n 0000004224 00000 n 試料面をレンズ磁界に近づけると焦点距離が短縮するため、小形試料をレンズ磁界内に配置するインレンズ方式が開発された。インレンズ方式とFE 電子源を組み合わせたインレンズ形FE-SEMは、現在最も分解能の高いSEM である。これに対して、試料を対物レンズの下方に配置する方式をアウトレンズ方式と言う。アウトレンズ方式はインレンズより分解能は劣るが、鉄などの磁性体試料でもレンズ磁界に影響を与えず、大きな試料も観察できるため、試料の制約が小さい。, インレンズで観察できない大きな試料を短い焦点距離で観察するために、セミインレンズ方式のFE-SEM が開発された。図5にセミインレンズ方式の対物レンズ断面を示す。セミインレンズでは磁極が試料側に配置され、磁路の下方にレンズ磁界が発生する。そのため大きな試料を対物レンズ下部に配置しても、インレンズと同等の短い焦点距離が実現する。図6に、アウトレンズ方式とセミインレンズ方式のFE-SEM の画像例を示す(加速電圧2kV)。このように、対物レンズの焦点距離を短縮することで分解能が大幅に向上する。, 図6 アウトレンズ方式とセミインレンズ方式のFE-SEM の画像例(試料:ITO 膜、2kV), 電子線照射で試料から発生する信号電子の中で、エネルギーが50eV 以下の電子を二次電子、それより高いエネルギーの電子を反射電子と言う。二次電子と反射電子は通常、別々の検出器で検出する。図7に、アルミナとニッケルの複合材料の二次電子像(加速電圧1.5kV)と反射電子像(加速電圧10kV)の例を示す。二次電子像ではアルミナ表面の凹凸が明瞭に観察でき、反射電子像ではニッケル粒子が明るく見えている。このように、加速電圧と信号電子(二次電子/ 反射電子)を適切に選択することで、凹凸構造や材料の違いを強調して表示することができる。, 図8にステンレス鋼(SUS)から発生するX線のスペクトル例を示す。スペクトルのピークは物質固有のエネルギーを持つため、スペクトルを分析すると構成元素が分かる。図9に、X 線で面分析した元素分布の例を示す。図9(b)(c）は、亜鉛とビスマスの分布状態を示している。元素分析では、材料の違いが強調される反射電子像(図9(a))で場所を確認すると便利である。, 図7 二次電子像と反射電子像の例(試料:アルミナ/ ニッケル複合材料)試料ご提供:関野徹先生(大阪大学産業科学研究所), SEM は、1965年に英国のCambridge Instrument社が最初の商用機を開発して以来、分解能、像コントラスト、操作性などで絶え間ない高性能化の歩みを続け、今日までに目覚ましい進歩を遂げている。1972 年に輝度の高いFE 電子源が製品化されて分解能が飛躍的に向上すると、未知の扉が次々と開かれた。さらに、インレンズ方式やセミインレンズ方式の開発、信号検出技術の進歩によって、それまで見えなかったものが見えるようになり、世界各国で開催される顕微鏡学会では、様々な分野で新たな発見や知見が積み上げられている。, SEM に興味を抱き、SEM を詳しく勉強したい方には、下記の参考図書をお勧めする。. 2001, 日立ハイテクから日立走査電子顕微鏡 su3800/su3900を紹介します。操作性と拡張性を両立させ、数々の操作もオート化し、高性能を効率的に活用することができます。

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0000010877 00000 n 0000004594 00000 n 度6.0 Pa、放電電流値15 mA、ターゲットと試料との間隔を30mm 程度としスパッタ時間を5、10、20、30、 45 および60 秒とした。また、比較のためスパッタ未処理の試料も作製した。 3.2 試料の観察 作製した試料を日立S-4500にて観察を行った。 68 46

0000002150 00000 n trailer 0000004714 00000 n <]>>

SEM（走査電子顕微鏡）とは電子線を用いて、数10倍～100万倍程度の表面の拡大像を取得できる顕微鏡です。電子線は可視光と比較すると非常に波長が短く、光学顕微鏡よりも微細な凹凸や組成分析が可能です。, 電子銃は光学顕微鏡の光源に相当する部分です。フィラメントの素材や電子の発生方法で、様々な特長の電子線を作ることができます。, 対物レンズは像の焦点を合わす最も重要なレンズです。試料を置く位置やポールピースの形状により、3種類の対物レンズに大別されます。, 像の見え方は加速電圧によって大きく異なります。加速電圧と試料の組成・密度・結晶方位により、一次電子線の電子散乱領域が異なるためです。軽元素よりも重元素のほうが、また同組成であれば加速電圧が低いほうが電子散乱領域は小さくなり、得られるSEM像は表面情報により敏感になります。低加速電圧にすることにより、高加速時には見えなった軽元素の微細な凹凸構造が観察できるようになります。, リターディング法（減速法）とは試料に負電圧を印可して、一次電子線を試料直前で減速させる方法です。例えば、一次電子線を電子銃部で5.0kVに加速し、試料に-4.0kVを印可すれば、一次電子線は負電圧の影響を受け、1.0kV（=5.0kV-4.0kV）のエネルギ－に減速されて試料に照射されます。この方法は、高加速電圧の条件で一次電子線が電子源から対物レンズまでを通過するため、電子銃部で1.0kVに加速するよりも収差が低減し、低い照射電圧（低加速の一次電子線）でも高分解能な観察を可能にします。, 電子線を試料に照射すると、二次電子や反射電子以外にも多くの信号情報が発生します。そこから特性X線分析（EDS・WDS）、後方散乱電子回折（EBSD）、電子線誘起電流（EBIC）などの様々な分析が可能となります。今回はSEMでよく使用されるエネルギー分散型X線分析（EDS）について説明します。, 電子線を試料に照射すると、X線が発生します。このX線を検出して元素情報を取得する装置が、エネルギー分散型X線分析装置(EDS)

0000304708 00000 n

0 endstream endobj 69 0 obj <��"��\r�U~�\r�A�\r�S�Ah�\r)/P -1340/R 3/U(P; ubp�֒�a��՚ )/V 2>> endobj 70 0 obj <><><>]>>/OCGs[72 0 R]>>/Type/Catalog/PageLabels 63 0 R>> endobj 71 0 obj <>/Encoding<>>>>> endobj 72 0 obj <>/PageElement<>/View<>/Print<>>>/Name(����\(�)/Type/OCG>> endobj 73 0 obj <>/ColorSpace<>/Font<>/ProcSet[/PDF/Text/ImageC/ImageI]/ExtGState<>>>/Type/Page>> endobj 74 0 obj <> endobj 75 0 obj <> endobj 76 0 obj <> endobj 77 0 obj <> endobj 78 0 obj <> endobj 79 0 obj [/Indexed/DeviceCMYK 251 119 0 R] endobj 80 0 obj [/Indexed/DeviceCMYK 255 121 0 R] endobj 81 0 obj [/Indexed/DeviceCMYK 250 123 0 R] endobj 82 0 obj <>stream 0000006750 00000 n %%EOF 0000003362 00000 n 日立ハイテクの走査電子顕微鏡 SU3800 / SU3900は、操作性と拡張性を両立させました。 中央と右側の画像は鋳鉄の組成像と凹凸像で、それそれの画像からグラファイトカーボン（黒い相）とチタンカーバイト（グレイ相）のカーボン相が判別出来、それに研磨後の試料硬さの違いから微細な凹凸が判別出来ます。, 図 5 に研磨したガーネット試料の点（＋印）における定性分析と定量分析結果を示します。 0000001699 00000 n 0000447923 00000 n

0000011852 00000 n 0000048823 00000 n 0000021206 00000 n 0000270478 00000 n 13（2006 年8 月） － 10 － 2. 0000004544 00000 n

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All rights reserved. 0000302905 00000 n 0000019748 00000 n

株式会社日立ハイテクノロジーズ（執行役社長：林 將章／以下、日立ハイテク）は、大型試料室／大型試料ステージの新開発により、最大300mm径試料の搭載を可能にした新形の走査電子顕微鏡（SEM）「S－3700N形」を6月1日より発売します。 です。SEMと組み合わせることでミクロンオーダーの元素情報を得ることが可能です。, 松定プレシジョンでは、汎用SEMの使い勝手とFE-SEMレベルの性能を両立した業界初のDual Lens SEMを取り扱っています。. 最近、ナノテクノロジー、マイクロマシン、ファインセラミック、超微細加工装置（評価検査）などが注目されていますが、これらは全て肉眼では見えない世界の話です。この肉眼では見えない物体を立体的に拡大して観察することができるものが走査電子顕微鏡（SEM）や、走査形プローブ顕微鏡（SPM）です。物体を拡大観察する手法として、虫眼鏡から電子顕微鏡まで幅広い装置がありますが、それらはそれぞれ目的用法によって使い分けがなされています。 ここでは、当社製品であるJSM-5000シリーズのSEMについて説明し、また、SEMに特別な機能を付加すれば、どの分野にまで応用できるかを紹介します。, SEMという名称はScanning Electron Microscopeの英語の頭文字SEMに由来します。日本語では走査電子顕微鏡と呼ばれますが、その作動原理はテレビのそれと良く似ています。 電子線を試料に照射すると、図1に示す様に、試料表面からいろいろな信号が発生します。これらのうち二次電子信号を利用しているのがSEMです。, 図1に示したように、電子線束と試料との間の相互作用で、種種の信号が試料表層から発生します。表層（数ナノメータ）から出る信号は二次電子（エネルギーが小さく、数＋eV以下）で、これを検出するユニットが二次電子検出器です。　SEMで検出する信号は二次電子が主であって、画像は二次電子像と呼ばれ、試料表面の形態（凹凸）を忠実に反映しているので、画像は立体感のある直感的な画像となります。, 図2に示すように、真空中でタングステンフィラメントを加熱すると、熱電子が発生します。フィラメントのまわりのウエネルト（陰極）と対極に位置するアノード（陽極）との間に高電圧を印加して、熱電子を引き出し、これを加速して物体に当てます（照射）。この熱電子束を物体に衝突する途中で、電子レンズ、走査コイル等により、極めて細いビーム（電子プローブ）として、物体（ここでは被検試料）表面に照射し、そして所定の領域を面走査します。, 物体上で電子線束の走査と、表示装置（CRT）のビームの走査を同期（シンクロナイズ）させ、また試料表面からの信号の強弱を256諧調に変換表示させます。倍率は光学顕微鏡とは異なり、試料物体上の電子線束による走査領域と固定された表示CRTの表示領域の比です。よって、高倍率で焦点合わせを施せば、それ以下の倍率での再焦点あわせは不要です。連続して倍率を変化させた像を得られます。, SEMの特長としては、直径200ｍｍの大形固体試料の表面構造が深い焦点深度をもった画像として得られること、観察倍率は極低倍率（×5）から30万倍までの幅広い制御範囲を持つこと、操作は簡単で誰でも行えることです。また、観察目的により、試料前処理過程が不要な低真空モード機能や試料冷却、引っ張り、加熱、描画、分析機能など多方面に拡張できます。以下にそれら応用写真を紹介します。, 表面形態を観察していると必ず異形物体や相が現われるので、それらを分析したくなるのが人間の常です。そうした欲求を満たしてくれるのがＥＤＳによる表面の定性分析、定量分析、二次元元素マップ分析です。EDSは試料から放出された構成元素の特性X線をSi半導体検出器で検出し、アナライザーで捉えた特性X線を弁別してCRT上にスペクトルとして表示します。分析SEMはスペクトルのエネルギー位置から定性分析を、特性X線の強度（カウント数）から定量分析を行える装置です。この装置は企業における欠陥品の検査及び原因究明、環境問題の解明、ハンダと基板との接続面解明、塗装膜の観察と分析、金属中の介在物の同定、金属疲労破壊、混入異物の形態観察と元素分析等の幅広い分野で活躍しています。, 表面観察の主役は二次電子像（SEI）ですが、反射電子像（BEI）も、使用目的によっては、二次電子像観察を凌駕する事もあります。日本電子のBEI検出器はトリプルの検出素子を配し、反射電子像でも信号演算回路により3種類の像、即ち、組成像、凹凸像、立体像が得られるのが特長です。概略を図3-1、3-2に示します。（日本電子特許）, 原子番号依存性　（元素の原子番号によって放出信号強度が異なる現象）を利用し、組成の違いを二次元的に表示できること。図3-1の手法では、検出素子A,Bに飛び込んだ信号を、図3－2に示したように演算回路で加算することにより組成のコントラストを強調。次頁の硼化鉄試料では、硼素濃度の異なる相が識別されています。, 角度依存性　（試料と検出器の角度によって放出信号強度が異なる現象）を利用し、減算回路を利用して得られる画像が凹凸像で、特に、鏡面仕上げ試料の硬さ違いが識別可能です。, 低真空モードの検出器では、二次電子検出器が使えないので、反射電子検出器が使われ、特に立体像は図3－2に示した如く、A と B 検出器に加えて、検出器を利用することにより SEI に近い立体感のある画像が得られます。（日本電子特許）, 図4に示したシンチレータタイプの反射電子検出器、センタウルス検出器やロビンソン検出器等も用意されています（オプション）。, 左図は硼化鉄の組成像で黒い相（FeB）とグレイ相（Fe2B）とでは硼素の濃度が異なっています。 MATSUSADA PRECISION Inc. ALL RIGHTS RESERVED. SEMの原理と操作実習 ... 6．まとめ SEMは、光学顕微鏡と同じように、微細な ... 株式会社日立ハイテクノロジーズ [3]図解 簡単SEM入門 株式会社キーエンス [4]走査電子顕微鏡の基礎と応用 日本電子顕微鏡学会関東支部編 共立出版 . 0000002264 00000 n

0000000016 00000 n

0000007205 00000 n 70 0 obj<>stream 0000013208 00000 n

走査電子顕微鏡とは sem（走査電子顕微鏡）とは電子線を用いて、数10倍～100万倍程度の表面の拡大像を取得できる顕微鏡です。電子線は可視光と比較すると非常に波長が短く、光学顕微鏡よりも微細な凹凸や組成分析が可能です。 電子銃の構造 電子銃は光学顕微鏡の光源に相当する部分です。 0000014979 00000 n 0000054498 00000 n 0000239521 00000 n 0000006889 00000 n 0000013224 00000 n
'; �� �U@�Q�vb��?։�(Ɩ�+$�e��Ws��S��~Ԯ��K�^JܠPK�l����:�̺�,*u������ٹ#Er��&wG/��b8��gL[�ŏ&���iۣ� ���sygZ�q��� �. 走査コイルは、電子スポットを探針(プローブ)として試料上を移動させる。これを電子線走査と言う。検出器は試料の電子線照射点から発生した信号電子を検出し、信号電子の量を各点の明るさとして表示したのがSEM 像である。信号電子の発生量は表面の凹凸構造で変化するため、SEM像には試料の表面形態が映し出される。, 電子源から発生した電子がガス分子と衝突しないで試料に到達するには、10-2 ～10-3Pa の真空が必要である。そのため、SEM の本体は真空ポンプで真空状態に保ち、観察試料も真空状態で壊れないように水分を除去する等の前処理を行う。また電子線照射で帯電しないように、試料表面に導電性を与える前処理も行われる。, SEM の分解能は試料上の電子スポットの直径(プローブサイズ)で決まり、スポット径が小さいほど分解能が高く、より微細なものまで鮮明に観察することができる。小さいスポットを作るには、電子源から発生する電子の密度(これを電子源の輝度と言う)を高くしなければならない。, 図3にSEM で用いられている代表的な電子源の例を示す。W(タングステン)フィラメント形は、W フィラメントを通電加熱して、熱エネルギーで電子を引き出す方式である。電界放出形(FE:Field Emission) は、室温でW 単結晶の針の先端に電圧を印加し、強電界で電子を引き出す。FE 電子源を動作させるには電子銃を10-8Paの超高真空にする必要があり、専用の真空ポンプが必要となる。その代わりW フィラメントの約1000 倍の高輝度が得られ、1nm 以下の極めて小さい電子スポット径を実現できる。このため、高分解能用SEM にはFE 電子源が用いられ、この方式のSEM をFE-SEM と言う。SEM の電子源には、この他にもショットキー(SE:Schottky Emission)形電子源があり、これも広く普及している。SE 電子源は電界と熱エネルギーの両方の作用で電子を引き出し、FE に近い輝度で高安定なビーム電流が得られる利点がある。, SEM の分解能は、電子源以外に対物レンズの集束性能にも左右される。集束性能は焦点距離が短いほど向上するため、対物レンズの焦点距離を短縮する試みがなされてきた。図4に、電子レンズ(集束レンズ、対物レンズ)の構造を示す。電子レンズはコイルと磁路で構成される電磁石で、磁路の切れ目(磁極)から発生するレンズ磁界領域が電子線に集束作用(凸レンズ作用)を与える。 このウェブサイトでは、JavaScriptの機能を有効に設定していただくことで、最適なコンテンツをご覧いただけます。, 高性能を、ここまで使いやすく、ここまで多用途に 0000002456 00000 n 127 0 obj <>stream

ラスターローテーション、ダイナミックフォーカス、画質改善機能、データ入力（2点間計測、角度計測、文字）、プリセット倍率、ステージ位置ナビゲーション機能(SEM MAP)、ビームマーキング機能, ■ハードウェア：トラックボール、ジョイスティック、操作パネル、コンプレッサ、高感度低真空検出器（UVD）、チャンバスコープ、カメラナビゲーションシステム　■ソフトウェア：SEM Data Manager、外部通信インターフェース、３D-Capture、ステージ移動制限解除機能、EDSインテグレーション, 独自のIntelligent Filament Technology（IFT）を搭載. これは、多量の含水試料以外は何でも観察及び分析が可能です。特に文化財、鑑識等の貴重な試料、帯電しやすい試料、コーティング及びカット出来ない試料（原形保持）、化学的前処理が出来ない試料、ガスを多量に放出するので真空圧力が良くならない試料等の観察に威力を発揮しています。まさに、日本電子が開発した優れもののSEMです。次頁に応用写真と図7にJSM-6460LA/EDSEMの外観写真を示します。, 組成像 撮影倍率 ；×1500

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